就连他也感到不可思议,他从事芯片制造这么多年,还从没听说过196nm精度的设备能制造10nm芯片?
这太不可思议了。
他们到底是怎么做到的?
打死他也不会想到,生产华芯芯片,靠的根本不是光刻机,而是光源!
他们想不明白的原因也很简单,因为13.5nm波长的极紫外光已经是目前能找到最短波长的光源了。
正是因为找不到再短的光源,红果才开始从设备上寻求突破。
这才有了现在的EUV光刻机。
也只有EUV光刻机,才能完美发挥出极紫外光的潜力,将芯片精度带入28nm的领域!
而钉子的稳态微聚束技术,唯一的作用就是改变光源波长!
就这么简单。
在真正见到稳态微聚束前,他们不可能通过拆解芯片找到答案。
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